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等离子清洗机

等离子清洗机

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等离子清洗机

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等离子清洗机
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名称：等离子清洗机 
型号：AP-1000
 
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主机、真空腔体及真空泵（无油干泵）、频率为13.56MHz的射频源、气体控制系统。

 

腔室容量

9.6L

电极面积

W305mm*550L

射频电源

600W

电源架工作规格

349W×425D（mm）

接地架工作规格

384W×425D（mm）

 

 

等离子清洁机通过利用离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。广泛应用于半导体、橡塑、橡胶、塑料、国防、医疗行业。

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