欢迎光临中科院苏州纳米所南昌研究院微纳加工平台!

logo

“1”

搜索
ss
微纳
微纳
搜索
确认
取消
微纳加工平台
联系我们

        1电   话:0791-85953519

        1E-mail:songzhenlei2016@

                           sinanonc.cn

        1地   址:江西省南昌市小蓝经济开发区

                     罗珠路278号(金湖公园对面)

等离子清洗机

浏览量:
1000

等离子清洗机

零售价
0.0
市场价
0.0
产品编号
数量
-
+
库存:
0
1
产品描述
参数
主要配置
性能指标
主要用途

 

名称:等离子清洗机 
型号:AP-1000
厂家:苏州菲克斯达半导体有限公司
扫二维码用手机看
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加

 

主机、真空腔体及真空泵(无油干泵)、频率为13.56MHz的射频源、气体控制系统。

 

腔室容量

9.6L

电极面积

W305mm*550L

射频电源

600W

电源架工作规格

349W×425D(mm)

接地架工作规格

384W×425D(mm)

 

 

等离子清洁机通过利用离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。广泛应用于半导体、橡塑、橡胶、塑料、国防、医疗行业。

上一个
下一个
imgboxbg

Copyright © 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所南昌研究院 版权所有

赣ICP备17004909号-1  songzhenlei2016@sinanonc.cn

联系地址:南昌小蓝经开区罗珠路278号(金湖公园对面)    网站建设:中企动力 南昌

imgboxbg