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匀胶旋涂仪

匀胶旋涂仪

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匀胶旋涂仪

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匀胶旋涂仪
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产品描述
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名称：匀胶旋涂仪

型号：WS-650Mz-23NPPB

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匀胶机主机、真空泵、真空托盘、系统附件

1、旋转马达：

转动速度至少满足 0-12,000rpm；

旋涂加速度不小于 12,000rpm/sec；

马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%。

2、控制系统

工艺时间设定范围至少满足 1-5999.9 sec/step ；

配有高精度PLC 可编程的控制器，设置点精度高；

可存储不少于 20 个程序段，每个程序段可设置不少于 51 个不同步骤的速度状态。

主要用于微细加工、半导体、微电子、光电子和纳米技术工艺中在硅片、陶瓷片上匀胶等工艺与光刻、烘烤等设备配合使用。

▲请查看：收费标准

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