欢迎光临“江西省纳米技术研究院微纳加工平台”！

搜索
ss
微纳
微纳
搜索
确认
取消
微纳加工平台

产品分类

联系我们

        1电   话：0791-85953515

        1E-mail：mnff2016@sinanonc.cn

        1地   址：江西省南昌市小蓝经济开发区

                     罗珠路278号（金湖公园对面）
首页
/
设备展示
/
加工设备
/
甩干机
/
甩干机

甩干机

浏览量:
1000

甩干机

零售价
0.0
元
市场价
0.0
元
产品编号
所属分类
甩干机
数量
-
+
库存:
0
1
产品描述
参数
主要配置
性能指标
主要用途
收费标准

名称：甩干机

型号：BNLS380-2-IV

扫二维码用手机看
未找到相应参数组，请于后台属性模板中添加

设备主要技术指标：

  1. 工作腔数量:2个
  2. 适用规格:1-8寸晶圆片:外形尺寸不大于200mmX200mm的芯片及光刻板等
  3.  旋转支架工作转速:400-2000rpm:转速误差<5%
  4. 旋转支架动平衡等级:G40:旋转支架在工作转速内甩干桶外壁径向振动位移<100um
  5. 转转支架定位系统:采用接近开关自动定位
  6. 电阻率监控功能:配置电导率测试仪,可选清洗终点判定依据
  7. 静电消除装置:配置内置式高压静电装置,中和桶内静电离子                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                

控制系统:PLC可编程控制,可容纳10组程序,每个程序含可自定义15步工序

操作界面显示:7寸液晶触摸屏

总电源:220V±10%,9KW

主要用于对硅片、蓝宝石片、氮化镓、砷化镓等半导体晶圆进行全自动高速

清洗、离心脱水、氮气吹扫烘干、除静电等。

▲请查看：收费标准

上一个
无
下一个
无
imgboxbg

Copyright © 江西省纳米技术研究院  版权所有

赣ICP备17004909号-1　　mnff2016@sinanonc.cn

联系地址：南昌小蓝经开区罗珠路278号（金湖公园对面）　  　网站建设：中企动力 南昌

imgboxbg