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电脑式HMDS烤箱

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电脑式HMDS烤箱

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名称:电脑式HMDS烤箱

型号:MD-40

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主要技术指标:

  • 机外壳烤漆制造
  • 内胆为不锈钢316L材料制成
  • 箱门闭合松紧能调节
  • 微电脑智能控温仪
  • 智能化触摸屏控制系统配套PLC模块
  • HMDS气体密闭式自动吸取添加设计
  • HMDS管路加热功能
  • 低液报警装置
  • 温度与PLC联动保护功能

在匀胶前的硅片等基片表面均匀涂布一层HMDS作用降低HMDS处理后的硅片接触角进而降低匀胶时光刻胶在硅片表面铺展开的难度提高光刻胶与硅片的黏附性,降低光刻胶的用量

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